工艺设备安装&调试

工艺设备安装&调试请找兆德(南通)电子科技有限公司。

兆德电子是由多名半导体专业人士牵头组建，有丰富的从工艺设备安装&调试、设备搬迁及人员管理等方面的经验。熟悉各类半导体设备拆解、包装、运输、存储、安装、调试等各个环节，承接半导体设备相关业务。

半导体设备包含光刻、扩散、注入、湿法、干刻、薄膜、溅射、背蒸、减薄等区域设备。

(1)设备关机;

a)软件关闭：确保Stage、robot home position Double check valve closed;

b)硬体关闭：手动阀门的关闭。Facility管道、阀门的断开;

(2)设备拆机;

a) Facility： PV、电、气断开。并做相应记录。包括管径、流量、电压、电流数据

b)易碎品拆除并作安全打包移机记录;可活动stage、部件的相应固定。

c)机台分离： I/0数据线mark后断开;分离前机台mark;

d)适用油压板车与千斤顶对机台分离工作进行缓冲，以确保机台在拆机过程中不受任何外力影响;

(3)设备移机;

a )新区域marking：业主提供设备生产线新区域起始点我司进行所有机台相应中心、边框对准线

b )动线确认：与业主沟通确定设备在MOVE过程中之动线;并做PVC板铺垫对机台移机地板进行保护

c)机台MOVE顺序：优先原则确定

d )安全：避免机台在移机过程中由于人为造成之震动、撞击等损害;所有工程人员应守厂区施工行为规范

(4)设备安装;

a )机台初定位：按照地面marking

b )机台精确定位：水平与位置精确调整

c )机台内部连线：I/O线、电源线连接

d )机台内部拆除件组装：易碎品部件安装

(5)设备调试;

a)确认facility条件满足：PV CDA PN2以及电源连接并确认

b )开机：硬件电源开启、操作系统开启;确认气动阀门、电磁阀门开关正常;sensor、Interlock正常;

c )ROBOT/STAGE match 包括正常归位，进、出片位置正常;精度达标。

d )流片测试：按正常生产进行run货。

兆德（南通）电子科技有限公司是专业的工艺设备安装&调试厂家，期待与您的合作。